Mit Hilfe des Rasterelektronenmikroskops kann die räumliche Struktur von Objekten sowie die Oberfläche von Proben betrachtet werden. Dabei entsteht ein dreidimensionales Bild des Präparates.

Das Zeiss EVO LS10 ist ein voll digitalisiertes Rasterelektronenmikroskop und kann durch Variation des Vakuumbereiches sehr vielfältig eingesetzt werden. Das Arbeiten im Hochvakuum erfordert, dass die Proben absolut wasserfrei und mit einer dünnen Metallschicht überzogen sind. Dafür müssen die Proben speziell präpariert werden. Im Gegensatz dazu bietet der VP-Modus (variable pressure) die Möglichkeit, Proben ohne vorherige Präparation und ohne Beschichtung zu analysieren, so dass in Abhängigkeit von der Größe und Beschaffenheit der Proben diese nach der Mikroskopie noch für weitere Analysen zur Verfügung stehen können. Zusätzlich verfügt das Gerät über ein EDX-System von Oxford Instruments (Wiesbaden) zur qualitativen und (semi-)quantitativen Elementanalyse von Proben.